LG顯示開發(fā)Micro LED面板檢測和修復(fù)技術(shù)
關(guān)鍵詞: LG顯示 Micro LED 缺陷像素 良率
據(jù)報道,LG顯示正在開發(fā)用于檢測和修復(fù)微型發(fā)光二極管(Micro LED)面板中缺陷像素的檢測與修復(fù)工藝技術(shù)。
該公司自去年 4 月起參與了由韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部牽頭的政府支持型微型 LED 檢測與修復(fù)研發(fā)項目。該項目涉及多個合作伙伴,包括蔚山科學(xué)技術(shù)大學(xué)(UNIST)、韓國顯示產(chǎn)業(yè)研究協(xié)會、Hubio和JESTEM。LG顯示作為面板制造商和需求方參與者,負(fù)責(zé)工藝驗證和性能評估。設(shè)備制造商和研究機構(gòu)負(fù)責(zé)開發(fā)檢測與修復(fù)技術(shù),而 LG顯示則負(fù)責(zé)驗證這些技術(shù)在實際生產(chǎn)環(huán)境中的適用性。
Micro LED面板是通過將數(shù)十萬至數(shù)百萬個微型LED芯片轉(zhuǎn)移并排列到基板上制成的。與有機發(fā)光二極管(OLED)面板不同,Micro LED面板使用無機發(fā)光體,因此具有更高的亮度、更長的使用壽命和更高的能源效率。然而,Micro LED的制造工藝極其復(fù)雜,當(dāng)部分芯片無法正常工作時,就會出現(xiàn)缺陷像素。由于像素尺寸在5到100微米之間,因此在生產(chǎn)過程中,缺陷的產(chǎn)生在結(jié)構(gòu)上難以避免。
因此,用于識別缺陷像素的檢測技術(shù)以及用于更換或修復(fù)缺陷像素的維修技術(shù)在微型LED制造中至關(guān)重要。傳統(tǒng)的基于電致發(fā)光(EL)的檢測方法需要物理接觸,存在芯片損壞的風(fēng)險;而基于光致發(fā)光(PL)的光學(xué)方法雖然是非接觸式的,但精度有限。業(yè)內(nèi)專家表示,需要集成化的檢測和維修流程。
即使高分辨率面板的良率達到99.99%,仍然可能出現(xiàn)數(shù)萬個缺陷像素,因此檢測和維修流程的效率與整體生產(chǎn)效率直接相關(guān)。
一位業(yè)內(nèi)人士表示:“由于Micro LED工藝的特性,缺陷像素是不可避免的。檢測和維修技術(shù)在識別和更換缺陷像素以確保良率方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用?!?/span>
為了實現(xiàn)Micro LED面板的商業(yè)化,需要穩(wěn)定整個制造流程,包括轉(zhuǎn)移、鍵合、檢測和維修。檢測和維修技術(shù)尤其被認(rèn)為是影響良率和生產(chǎn)成本的關(guān)鍵因素。
“掌握維修技術(shù)未必能直接加速商業(yè)化進程,但它對降低制造成本有著顯著的影響,”另一位業(yè)內(nèi)人士表示,“良率的提高最終會降低整體生產(chǎn)成本?!保ㄐ?李梅)