5月7日，廣鋼氣體在投資者互動平臺表示，公司自主研發(fā)的“Super-N”系列超高純制氮裝置，可穩(wěn)定生產(chǎn)并持續(xù)供應(yīng)ppb級（十億分之一）超高純氮氣，滿足集成電路制造對氣體純度的嚴(yán)苛要求。目前，Super-N 30K、50K型號已在國內(nèi)多家頭部半導(dǎo)體客戶現(xiàn)場落地應(yīng)用。、

廣鋼氣體是國內(nèi)領(lǐng)先的電子大宗氣體綜合服務(wù)商，于2023年8月登陸科創(chuàng)板，成為“中國電子大宗氣體第一股”。公司是國務(wù)院國資委“科改示范企業(yè)”及廣州市國資委重點混合所有制改革項目企業(yè)，主營業(yè)務(wù)為以電子大宗氣體為核心的工業(yè)氣體的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

Super-N系列制氮裝置由廣鋼氣體完全自主研發(fā)，針對電子大宗客戶的大規(guī)模供氣需求設(shè)計。該裝置可在5000Nm3/h及以上的供氣量時，不通過后置純化系統(tǒng)即可直接產(chǎn)出雜質(zhì)含量控制在1ppbv以內(nèi)的氮氣，純度達到國內(nèi)最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。與國內(nèi)其他廠家及國際頂尖廠家的制氮機相比，Super-N系列在純度、產(chǎn)品規(guī)格等參數(shù)上領(lǐng)先國內(nèi)廠家，與國際頂尖廠家持平；在經(jīng)濟性和交付周期方面則優(yōu)于國際頂尖廠家。裝置可靠性指標(biāo)已追平外資同類產(chǎn)品，平均修復(fù)時間≤8小時，平均失效間隔≥4000小時，在線時間≥99.8%。

2025年8月，廣鋼氣體建德智能裝備制造基地正式投產(chǎn)，并成功下線首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高純制氮機大型模塊化真空冷箱。該基地的投產(chǎn)標(biāo)志著我國在超高純電子大宗氣體核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全鏈路自主可控，從核心材料、控制系統(tǒng)到制造工藝實現(xiàn)100%國產(chǎn)化，徹底打破海外企業(yè)長達20年的技術(shù)壟斷。（校對/鄧秋賢）