ASML柏林工廠突發(fā)火災
2022-01-04
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1月4日消息，ASML當?shù)貢r間3日宣布，其位于德國柏林的工廠于2日晚間發(fā)生火災，大火在夜間被撲滅，無人受傷，目前就損害或是否會影響其生產(chǎn)計劃發(fā)表聲明還為時過早，公司計劃花幾天時間進行調(diào)查并做出全面評估。
據(jù)悉，ASML柏林工廠為ASML的光刻系統(tǒng)生產(chǎn)組件，包括晶圓工作臺和夾具，十字線卡盤和鏡像塊。
