據“華睿投資”公眾號6月4日消息，2026年5月，國內光掩膜廠商睿晶半導體迎來重要資本助力，華睿超材料基金完成對公司戰略股權投資，資金將全部用于高端制程光掩膜技術研發、產線擴建與產業化落地，加速國內關鍵光刻材料自主化進程。

睿晶半導體是國內專注半導體光掩膜全流程研發制造的專精型企業，業務覆蓋從基板加工、光刻膠涂布、精密圖形制版到成品檢測全鏈條，產品涵蓋成熟邏輯芯片、功率半導體、存儲芯片配套各檔位掩膜版，同時布局先進制程高端掩膜研發。公司組建由材料、精密光學、微電子多領域人才構成的研發團隊，深耕光掩膜核心工藝多年，已實現多款中端掩膜產品批量供貨國內本土晶圓廠。

光掩膜作為芯片光刻環節必不可少的核心耗材，是集成電路制造的剛需關鍵材料，高端制程產品長期被境外企業壟斷，也是國內半導體產業鏈國產化攻堅重點環節。伴隨國內晶圓制造產能持續擴張，本土芯片廠商供應鏈自主化訴求提升，國產掩膜板迎來廣闊替代空間。

依托華睿超材料基金的資金與產業鏈資源加持，睿晶半導體將加大前沿工藝研發投入，重點突破高端掩膜精密制版、缺陷管控等卡脖子技術，同步擴充自動化量產產線。投資方依托自身產業生態圈資源，協助企業對接國內頭部晶圓、IC 設計企業，加快新品客戶端驗證節奏，縮短產品規模化落地周期。

隨著資本落地與技術迭代提速，睿晶半導體有望持續擴充高端產品供給能力，填補國內高端光掩膜量產缺口，既幫助下游芯片制造企業優化供應鏈安全、降低進口采購成本，也進一步完善我國半導體光刻材料自主產業鏈布局。

（校對/李正操）