加速12英寸大硅片國(guó)產(chǎn)化 西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目開(kāi)工
2022-06-14
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6月14日,西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目于西安市高新區(qū)開(kāi)工,奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地目前擁有一座50萬(wàn)片/月產(chǎn)能的12英寸硅片工廠,已于2020年7月投產(chǎn),為多家海內(nèi)外晶圓廠提供拋光片和外延片。本次擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目投產(chǎn)后將進(jìn)一步提升我國(guó)半導(dǎo)體硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)實(shí)力,強(qiáng)化集成電路產(chǎn)業(yè)鏈綜合競(jìng)爭(zhēng)力。

近兩年來(lái),受多重因素影響,集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能緊俏,作為上游原材料的大硅片需求不斷攀升。然而,我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵原材料尚處于發(fā)展初期,硅片產(chǎn)能主要集中于小尺寸,大尺寸自給率低,約95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠進(jìn)口,國(guó)內(nèi)產(chǎn)能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片,其制造難度越高,對(duì)原材料純度、硅片平整度、表面顆粒數(shù)和金屬殘留量等技術(shù)指標(biāo)的要求就越苛刻。
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