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一期投資65億元,晶鎂光罩高端光掩膜版項目廠房封頂

2026-06-11 來源:LED在線
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關鍵詞: 晶鎂光罩 項目封頂 半導體 光刻掩模版

“合肥高新發布”消息,6月9日,安徽晶鎂光罩廠房及廠務項目主體結構實現封頂,比原計劃提前三周完成節點目標。

圖片來源:合肥高新發布

該項目位于合肥高新區復興路與火龍地路交口東南側,一期總投資65億元,總建筑面積約4.6萬平方米,主要聚焦28nm及以上高端光罩的研發、生產與銷售,規劃建設高標準自動化產線,滿產后月產能約3200片,預計2027年投產。

作為半導體、新型顯示產業的核心上游材料,光罩是高端光電制造產業鏈中不可或缺的關鍵核心環節,直接決定產業產品精度與核心競爭力。例如,半導體光罩在Micro LED領域主要用于芯片外延、光刻圖形轉移及微結構加工,是實現高精度像素陣列與良率控制的關鍵工具。

項目建成后,將進一步完善合肥本地半導體產業鏈布局,強化高端光罩在關鍵制造環節的供應能力。下一階段,項目將推進機電安裝、潔凈車間裝修及廠務系統調試等工作,按計劃推進投產目標。

晶鎂光罩成立于2025年3月,由合肥晶合集成電路股份有限公司等多方共同出資設立,蔡國智任法定代表人,其同時擔任晶合集成董事長,具備較豐富的半導體產業管理經驗。

2024年,晶合集成實現安徽省首片半導體光刻掩模版生產并于同年10月實現量產。晶鎂光罩承接了晶合集成轉讓的28nm及以上工藝節點相關技術,包含24項專利及73項專有技術,技術轉讓金額約2.77億元,為其初期產能建設提供了技術基礎。

2025年7月,晶鎂光罩完成首輪戰略融資,合計增資約11.95億元,用于一期產線建設。投資方包括晶合集成、合肥國資平臺及多家產業資本與投資機構。(集邦Display整理)