中國科學院微電子研究所24日發(fā)布訃告：中國科學院院士、中國杰出的微電子科學家吳德馨因病醫(yī)治無效，于3月23日下午在北京逝世，享年90歲。

吳德馨1936年12月生于河北樂亭，1979年6月加入中國共產黨，1961年畢業(yè)于清華大學無線電電子工程系，成為清華大學第一批半導體專業(yè)畢業(yè)生。畢業(yè)后被分配至中國科學院半導體研究所工作，1986年調入中國科學院微電子中心（現(xiàn)中國科學院微電子研究所）工作至今，歷任助理研究員、研究員、中心副主任、主任，1991年當選為中國科學院院士（學部委員）。先后榮獲國家科技進步二等獎、北京市科學技術一等獎、中國科學院科技進步一等獎、何梁何利技術科學獎等多個重要獎項。

吳德馨是我國半導體與集成電路研究的開拓者之一，為國家微電子事業(yè)發(fā)展做出了卓越貢獻。在半導體所工作期間，她作為課題負責人承擔了解放初期“12年科學規(guī)劃”中的“平面型高速開關晶體管的研究”，獨立自主地解決了提高開關速度的關鍵問題，開關速度達到當時國際同類產品水平。該技術在中國科學院109廠和上海器件五廠進行了推廣，打破了西方國家對我國的封鎖，為“兩彈一星”配套的“109丙”計算機提供了核心器件，產生了重大的經濟和社會效益，獲全國新產品一等獎。

1986年，吳德馨同志調入中國科學院微電子中心任副主任、研究員。作為主要負責人從事N溝MOS 4K、16K和64K動態(tài)隨機存儲器（DRAM）的工藝研究，首次在國內成功研制出4K、16K位DRAM。成功開發(fā)出雙層多晶硅和差值氧化工藝，打破了我國大規(guī)模集成電路成品率長期低下的局面，為我國集成電路的工業(yè)生產奠定了基礎。

1991年，吳德馨同志擔任中國科學院微電子中心主任，領導開發(fā)了0.8微米CMOS全套工藝，科研成果和產品開發(fā)等效益不斷增加，開創(chuàng)了微電子中心發(fā)展的新局面。 離開領導崗位的吳德馨并未放松科學研究，她領導科研人員成功研制0.1微米砷化鎵/鋁鎵砷異質結場效應晶體管，在國內首次成功研制出全功能砷化鎵/銦鎵磷HBT 10Gbps光纖通信光發(fā)射驅動電路。 任全國人大常委會委員期間，吳德馨同志認真履行職能，積極建言獻策，多次向中央領導匯報微電子技術的發(fā)展趨勢并提出建議，多次參加國家和中國科學院發(fā)展規(guī)劃的制定，多次主持執(zhí)筆兩院院士對國家集成電路發(fā)展咨詢報告的撰寫等工作，有力推動了我國半導體事業(yè)的發(fā)展。